特 点：
1.分辨率高，灵敏度高，抗干扰能力强，对试样无破坏，实验技术较为简单，试样的制备技术也不复杂

2.研究的对象可以是导体、半导体或绝缘体，试样可以是晶体或非晶体态的体材料、薄膜或固体的表层，也可以是粉末、超细小颗粒，甚至是冷冻的溶液。

A.整体性能
1.等加速、等速、正弦、重点区四种驱动
2.速度范围：±200mm/s
3.标准α－Fe内双线宽≤0.24mm/s

B.探测器总成
1.气体正比计数管、电荷前放、线性脉冲
   放大器、高压电源、低压电源一体机
2.能量分辨率优于10%（14.4keV处）
3.稳定性好于±1%

C.数据采集系统
1.函数发生器
   正弦、三角、阶梯波、人工设定波形输出
   可驱动512/1024/2048/4096道多定标谱仪
2.多道分析器
   具有PHA、MSC、MSC(Window)功能
   道数：512/1024/2048/4096
   Wissel软件，图形界面

配 置：
仪器电源；信号发生器；电磁驱动器；锁相放大器；X线探头；电脑（自配）、打印机（自配）